制造电色装置的方法

摘要

本发明构思在电色装置制造中利用激光图案化/切割，激光图案化/切割用于制造工艺期间的任何地方且视为电色装置可制造性、产率、功能性的适当必要手段，同时整合所述激光切割以确保保护所述装置的有源层，进而保证长期可靠性。设想采用激光直接移除(剥离)部件层材料而图案化电色装置的部件层。本发明包括制造电色装置的方法，所述方法包含一或多个聚焦激光图案化步骤。为最少化激光剥离材料再沉积和微粒形成在装置表面，可采用若干方法：(1)可在装置材料的所述激光剥离附近用真空抽吸及/或惰性气体喷射移除所述聚焦激光图案化产生的剥离材料；(2)在空间上隔开各层边缘及在沉积上层之前图案化下层；及(3)所述激光图案化步骤由直接聚焦在所述沉积层上方的激光束、导引穿过透明基板的激光束或二者的组合来进行。

主权项

一种制造电色装置的方法，所述方法包含：在透明基板上沉积第一透明导电层，随后沉积阴极；图案化所述第一透明导电层和所述阴极；沉积电解质层，随后沉积反电极层，接着沉积第二透明导电层；聚焦激光图案化所述电解质层、所述反电极层和所述第二透明导电层；沉积扩散阻障层；以及形成分离的电触点至所述第一透明导电层和所述第二透明导电层。