发明名称 硅片预清洗辅助装置
摘要 本实用新型公开了一种硅片预清洗辅助装置,包括方形板(1),方形板(1)前端面纵向设置有进水孔(3),且上端面竖直设置有出水孔(2),出水孔(2)与进水孔(3)彼此连通。本实用新型结构简单、合理,成本低;清洗效率高,清洗更加完全、彻底,实用性强;耗水量大为降低,节约了能源,降低了成本。
申请公布号 CN203140349U 申请公布日期 2013.08.21
申请号 CN201320144169.5 申请日期 2013.03.27
申请人 天威新能源控股有限公司 发明人 刘兴翀;陈博;张凯;孟奔;林洪峰;盛雯婷;张凤鸣
分类号 B08B3/02(2006.01)I 主分类号 B08B3/02(2006.01)I
代理机构 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 代理人 谢敏
主权项 硅片预清洗辅助装置,包括方形板(1),其特征在于:方形板(1)前端面纵向设置有进水孔(3),且上端面竖直设置有出水孔(2),出水孔(2)与进水孔(3)彼此连通。
地址 610000 四川省成都市双流县西南航空港经济开发区天威路1号