发明名称 | 硅片预清洗辅助装置 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种硅片预清洗辅助装置,包括方形板(1),方形板(1)前端面纵向设置有进水孔(3),且上端面竖直设置有出水孔(2),出水孔(2)与进水孔(3)彼此连通。本实用新型结构简单、合理,成本低;清洗效率高,清洗更加完全、彻底,实用性强;耗水量大为降低,节约了能源,降低了成本。 | ||
申请公布号 | CN203140349U | 申请公布日期 | 2013.08.21 |
申请号 | CN201320144169.5 | 申请日期 | 2013.03.27 |
申请人 | 天威新能源控股有限公司 | 发明人 | 刘兴翀;陈博;张凯;孟奔;林洪峰;盛雯婷;张凤鸣 |
分类号 | B08B3/02(2006.01)I | 主分类号 | B08B3/02(2006.01)I |
代理机构 | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人 | 谢敏 |
主权项 | 硅片预清洗辅助装置,包括方形板(1),其特征在于:方形板(1)前端面纵向设置有进水孔(3),且上端面竖直设置有出水孔(2),出水孔(2)与进水孔(3)彼此连通。 | ||
地址 | 610000 四川省成都市双流县西南航空港经济开发区天威路1号 |