| 摘要 |
1. Способ для изготовления твердотельного устройства захвата изображений, которое включает в себя:- подложку, включающую в себя блок фотоэлектрического преобразования, и- волновод, скомпонованный на подложке, причем волновод соответствует блоку фотоэлектрического преобразования и включает в себя сердечник и оболочку, при этом способ содержит:- первый этап и второй этап,- причем на первом этапе и втором этапе элемент, который должен быть сформирован в сердечник, формируют в отверстии в оболочке посредством высокоплотного плазмохимического осаждения из паровой фазы, и- причем после первого этапа на втором этапе элемент, который должен быть сформирован в сердечник, формируют посредством высокоплотного плазмохимического осаждения из паровой фазы при условиях, в которых соотношение радиочастотной мощности на стороне задней поверхности подложки к радиочастотной мощности на стороне лицевой поверхности подложки превышает соотношение на первом этапе.2. Способ по п.1,- в котором элемент, который должен быть сформирован в сердечник, содержит нитрид кремния, и- на первом этапе и втором этапе подают газовую смесь, которая содержит кремнийсодержащий газ, азот, азотсодержащий газ и инертный газ.3. Способ по п.1, в котором элемент, сформированный на первом этапе, имеет толщину 10-50 нм.4. Способ по п.1, дополнительно содержащий:- третий этап, на котором формируют элемент, который должен быть сформирован в сердечник в отверстии,- при этом третий этап выполняют между первым этапом и вторым этапом при условии, в котором соотношение радиочастотной мощности на стороне задней поверхности подложки к радиочастотной мощности на стороне |
