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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR CLEANING
摘要
申请公布号
KR20130091752(A)
申请公布日期
2013.08.19
申请号
KR20137004655
申请日期
2006.02.13
申请人
SMALL ROBERT J.
发明人
SMALL ROBERT J.
分类号
H01L21/306;C11D11/00
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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