| 摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Kalibrierung eines Planarantriebes, der einen Stator und einen gegenüber dem Stator in eine x-Richtung und in eine y-Richtung verfahrbaren Läufer umfasst. Der Planarantrieb umfasst weiterhin einen ersten und einen zweiten auf dem Läufer angeordneten x-Antrieb zum Antreiben des Läufers in die x-Richtung, Der zweite x-Antrieb ist gegenüber dem ersten x-Antrieb in der y-Richtung versetzt. Eine erste und eine zweite x-Ansteuereinheit dienen dem Ansteuern der beiden x-Antriebe. Weiterhin umfasst der Planarantrieb mindestens einen y-Antrieb zum Antreiben des Läufers in die y-Richtung und einen y-Sensor zur Bestimmung der Position des Läufers gegenüber dem Stator in der y-Richtung, Das Verfahren umfasst zunächst einen Schritt, bei welchem der erste und der zweite x-Antrieb über die beiden x-Ansteuereinheiten zum Verfahren des Läufers in die x-Richtung angesteuert werden, was synchron, aber mit einem ersten Versatz in der x-Richtung erfolgt. Dabei wird ein erstes Signal des y-Sensors in Abhängigkeit von der Position des Läufers in der x-Richtung aufgezeichnet. Es erfolgt ein Kalibrieren der beiden x-Ansteuereinheiten in einem ersten Kalibnerungsschritt durch ein Bewerten einer in der ersten x-Ansteuereinheit zu verarbeitenden Größe und einer in der zweiten x-Ansteuereinheit zu verarbeitenden Größe mit dem ersten Signal des y-Sensors Im Weiteren betrifft die Erfindung einen Planarantrieb.</p> |
