用于去除杂质的基于衬里的组件

摘要

本发明涉及一种用于存储材料的衬里，该衬里包括至少两层，其中，与材料接触的层是活性层。通过将清除剂结合到工作层中而使该层有活性。衬里的至少一层包括聚合物或含氟聚合物。在一些实施例中，活性层可以被构造为用于去除光致抗蚀剂中的微桥接组分。在一些实施例中，通过以惰性材料诸如玻璃覆盖活性层的内部而使该层有活性。在进一步的实施例中，衬里位于不锈钢罐内。本发明还涉及一种基于衬里的组件，该基于衬里的组件包括：衬里，该衬里用于存储材料；外包装，衬里置位于该外包装内；以及，净化包，该净化包位于衬里和外包装之间。

主权项

一种用于存储材料的衬里，所述衬里包括至少两层，其中，与所述材料接触的层是活性层。