发明名称 |
8.4~8.8μm透过的长波红外滤光片及制备方法 |
摘要 |
本发明涉及一种8.4~8.8μm透过的长波红外滤光片及制备方法,属于光学薄膜技术领域。该滤光片包括锗基底、基底一侧长波通膜系和另一侧短波通膜系,长波通膜系结构为:(0.5lh0.5l)^10(0.57l1.14h0.57l)^6,中心波长为5980nm,短波通膜系结构为:(lh)^10,中心波长为11400nm,l和h分别依次为硫化锌和碲化铅膜层;通过在真空中加热基底,在离子源通氩气下用电阻蒸发分别在基底两侧沉积长、短波通膜系,冷却后制得。该滤光片在8.4~8.8μm透过率高,0.9~8.25μm和8.95~14μm宽截止,膜系层数较少,满足遥感探测系统使用要求;该方法简便稳定,成品率高。 |
申请公布号 |
CN103245993A |
申请公布日期 |
2013.08.14 |
申请号 |
CN201310145383.7 |
申请日期 |
2013.04.25 |
申请人 |
兰州空间技术物理研究所 |
发明人 |
董茂进;王多书;熊玉卿;张玲;王济洲;李晨;王超;高欢 |
分类号 |
G02B5/20(2006.01)I;G02B1/10(2006.01)I;B32B9/04(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/52(2006.01)I |
主分类号 |
G02B5/20(2006.01)I |
代理机构 |
北京理工大学专利中心 11120 |
代理人 |
杨志兵;郭德忠 |
主权项 |
一种8.4~8.8μm透过的长波红外滤光片,其特征在于:所述滤光片包括锗基底、基底一侧的长波通膜系和另一侧的短波通膜系;长波通膜系包括交替叠加的硫化锌和碲化铅膜层,结构为:(0.5lh0.5l)^10(0.57l1.14h0.57l)^6,中心波长为5980nm;l为硫化锌膜层,0.5l表示硫化锌膜层厚度为0.5个基本厚度,0.57l表示硫化锌膜层厚度为0.57个基本厚度,h为碲化铅膜层,表示碲化铅膜层厚度为1个基本厚度,1.14h表示碲化铅膜层厚度为1.14个基本厚度,所述基本厚度为光学厚度中心波长的四分之一,10为基本膜堆(0.5lh0.5l)的周期数,6为基本膜堆(0.57l1.14h0.57l)的周期数;短波通膜系包括交替叠加的硫化锌和碲化铅膜层,结构为:(lh)^10,中心波长为11400nm;l为硫化锌膜层,表示硫化锌膜层厚度为1个基本厚度,h为碲化铅膜层,表示碲化铅膜层厚度为1个基本厚度,所述基本厚度为光学厚度中心波长的四分之一,10为基本膜堆(lh)的周期数。 |
地址 |
730000 甘肃省兰州市城关区渭源路97号 |