一种提高金属工件表面力学性能的方法

摘要

本发明公开了一种提高金属工件表面力学性能的方法，其步骤主要是：首先将金属工件进行溅射清洗，然后在磁控溅射设备中，周期性交替改变金属工件表面与溅射靶材平面法线的夹角，进行溅射沉积，在金属工件上沉积得到晶粒取向不同的多层陶瓷薄膜。采用该方法能在金属工件表面沉积内应力低的多层陶瓷薄膜，沉积的多层薄膜内应力低、与金属工件的结合力强，金属工件表面的力学性能好；且其操作简单，制备时间短，制备成本低。

主权项

一种提高金属工件表面力学性能的方法，其具体步骤是：A、将金属工件放入磁控溅射设备的真空室中，真空室抽真空至0.5×10‑3Pa～2×10‑3Pa；B、向真空室内通入氩气至压力0.5～2.0Pa，施加‑800V～‑1000V的直流电压，辉光放电形成等离子体，对金属工件进行溅射清洗10～100分钟，然后关闭氩气及直流电源；C、向真空室内通入反应气体压力0.05～0.2Pa，通入氩气压力0.5～2.0Pa，在金属工件上施加‑20～‑200V的基体偏压，打开溅射靶材电源；D、调整金属工件表面与溅射靶材平面法线的夹角为20～70度，在金属工件上溅射沉积0.1～1微米的陶瓷薄膜；E、调整金属工件表面与溅射靶材平面法线的夹角为110～160度，在金属工件上溅射沉积0.1～1微米的陶瓷薄膜；F、重复步骤D、E的操作0‑30次，即可。