| 发明名称 | 一种气体预热装置、扩散炉及进气预热的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种气体预热装置，包括：包含有进气口以及出气口的气包，气包的主体表面绕有电热丝，并且电热丝按照从进气口到出气口由疏到密分布；温度传感器，固定在气包上；温控仪，与温度传感器信号连接；控制元件，其一端与温控仪信号连接，其另一端与电热丝连接；本发明还提供一种气体预热装置的扩散炉，扩散炉的进口与出气口连接；本发明还提供扩散炉的进气预热方法。本发明提供的气体预热装置，气包的主体表面绕有电热丝，并且电热丝按照从进气口到出气口由疏到密分布，能够使气体通过进气口后开始缓慢均匀地加热，最终达到所需温度。 | ||
| 申请公布号 | CN103243393A | 申请公布日期 | 2013.08.14 |
| 申请号 | CN201310163639.7 | 申请日期 | 2013.05.06 |
| 申请人 | 上海煦康电子科技有限公司 | 发明人 | 陆利新;陈荣莲;杜鹏程 |
| 分类号 | C30B31/06(2006.01)I;C30B33/00(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | C30B31/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 郑玮 |
| 主权项 | 一种气体预热装置，其特征在于，包括：包含有进气口以及出气口的气包，所述气包的主体表面绕有电热丝，并且所述电热丝按照从所述进气口到所述出气口由疏到密分布；温度传感器，固定在所述气包上；温控仪，与所述温度传感器信号连接；控制元件，其一端与所述温控仪信号连接，其另一端与所述电热丝连接。 | ||
| 地址 | 200233 上海市徐汇区田林路140号28幢511幢 | ||