紫外线照射装置

摘要

本发明提供一种紫外线照射装置。以使尽可能地降低紫外线照射装置的管理负担，并且能够有效地向处理对象物照射紫外线。紫外线照射装置设置有：放电灯，其向处理对象物照射紫外线；以及气体提供单元，其向该放电灯和上述处理对象物之间的空间提供气体，上述气体提供单元构成为，包括：配置在上述放电灯的侧方的上述气体的喷出口；以及在上述处理对象物的存在侧的相反侧覆盖上述放电灯的周围空间的遮蔽体。

主权项

一种紫外线照射装置，设置有：放电灯，其向处理对象物照射紫外线；收纳该放电灯的框体；以及气体提供单元，其向该放电灯和上述处理对象物之间的空间提供气体，其中，上述气体提供单元构成为，包括：配置在上述放电灯的侧方的上述气体的喷出口；以及在上述处理对象物的存在侧的相反侧覆盖上述放电灯的周围空间的遮蔽体，上述遮蔽体位于上述框体和上述放电灯之间的空间并与上述放电灯分离，在上述遮蔽体形成上述气体的排出用的排出口，该排出口位于放电灯的短边侧方向上的放电灯的中央位置的正上方。