发明名称 Charged particle beam extraction system
摘要
申请公布号 EP1732369(B1) 申请公布日期 2013.08.14
申请号 EP20060007863 申请日期 2006.04.13
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 NAKAYAMA, TAKAHIDE;NATORI, TAKAYOSHI;YANAGISAWA, MASAKI
分类号 H05H7/10;A61N5/10 主分类号 H05H7/10
代理机构 代理人
主权项
地址