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经营范围
发明名称
Charged particle beam extraction system
摘要
申请公布号
EP1732369(B1)
申请公布日期
2013.08.14
申请号
EP20060007863
申请日期
2006.04.13
申请人
HITACHI, LTD.
发明人
NAKAYAMA, TAKAHIDE;NATORI, TAKAYOSHI;YANAGISAWA, MASAKI
分类号
H05H7/10;A61N5/10
主分类号
H05H7/10
代理机构
代理人
主权项
地址
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