| 发明名称 | 溶解变形用药液及溶解变形处理方法 | ||
| 摘要 | 本发明的目的在于提供溶解变形用药液及溶解变形处理方法。其中，所述溶解变形用药液可以对有机膜图案进行均匀的溶解变形处理。本发明为一种溶解变形用药液，用于有机膜图案的溶解变形处理，其中，含有酰胺类及腈类中的至少任一种。另外，本发明为一种溶解变形用药液，用于有机膜图案的溶解变形处理，其中，至少含有含氮的碱成分和溶解变形用溶剂。 | ||
| 申请公布号 | CN101654617B | 申请公布日期 | 2013.08.14 |
| 申请号 | CN200910165973.X | 申请日期 | 2009.08.20 |
| 申请人 | NLT科技股份有限公司 | 发明人 | 城户秀作;安江秀国;西嶋佳孝 |
| 分类号 | C09K13/00(2006.01)I;G03F7/32(2006.01)I | 主分类号 | C09K13/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 樊卫民;郭国清 |
| 主权项 | 一种溶解变形用药液，用于有机膜图案的溶解变形处理，其中，含有酰胺类及腈类中的至少任一种。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县川崎市 | ||