具有环形凸脊的溅射靶材、溅射腔室和延长靶材寿命的方法

摘要

一种用于溅射腔室的溅射靶材，其包含背板并且所述背板上安装有溅射板。在一态样中，所述背板包括正面具有环形凹槽的圆形板。所述溅射板包含具有溅射面及背面的圆盘，在所述圆盘的背面具有环形凸脊，并且环形凸脊的形状与尺寸塑造成能使所述凸脊安装入所述背板的环形凹槽中。

主权项

一种用于溅射腔室的溅射靶材，所述溅射靶材包括：(a)第一材料的背板，所述背板包含圆形板，所述圆形板具有正面与背面，所述正面包含环形凹槽；(b)第二材料的溅射板，所述第二材料不同于所述第一材料，所述溅射板安装在所述背板上，所述溅射板包含圆盘，所述圆盘包括(i)溅射面和(ii)背面，所述圆盘的背面具有环形凸脊，所述环形凸脊的形状与尺寸塑造成能使所述环形凸脊安装在所述环形凹槽中；以及(c)第三材料的环，所述第三材料不同于所述第一和第二材料，所述环设置在所述环形凹槽中，其中所述第三材料具有与所述第二材料和第一材料不同的电磁特性。