带有应力梁的机械式光调制器

摘要

本发明涉及一种空间光调制器，该空间光调制器包括具有一个表面的一个基片以及被连接到该基片上的一个调制组件，该调制组件包括一个调制元件和一个顺性梁。该调制组件被构形为用来限制不然就会由该顺性梁内的固有应力引发的该顺性梁朝向一个对置表面的弯曲。本发明还涉及一种制造空间光调制器的方法，该方法包括以下步骤：形成并释放一个调制组件，该调制组件具有一个调制元件以及一个顺性梁，该顺性梁在一个释放前的位置中形成以便具有一种想要达到的固有应力状态。作为该顺性梁中这种应力状态的一个结果，当释放该顺性梁时，该顺性梁弯曲进入一个休止位置，该休止位置不同于该释放前的位置，其中该休止位置是部分基于该想要达到的固有应力状态。

主权项

一种空间光调制器，包括：一个基片，该基片具有一个表面；以及一个连接到该基片上的调制组件，该调制组件包括一个调制元件以及一个顺性梁，其中该调制组件被构形为使得该顺性梁具有第一末端和第二末端并且该顺性梁在一个第一锚定件处被连接到该基片上，以及其中该调制组件被构形为使得该顺性梁的形状被确定为从该第一末端延伸离开该第一锚定件并且向该第二末端向回弯曲朝向该第一锚定件。