投影物镜波像差在线检测装置

摘要

本实用新型公开了一种投影物镜波像差在线检测装置，包括光源(LA)、投影物镜(PO)、参考标记(RP)、探测器(DE)、掩模板(MA)。掩模板(MA)用于将由所述光源(LA)出射的激光转换为两束相干光，该两束相干光经所述投影物镜(PO)后在所述投影物镜(PO)的焦平面处发生干涉，产生干涉条纹；该干涉条纹经过所述参考标记(RP)后照射在所述探测器(DE)上，转化为电信号；根据该电信号的强度得到所述干涉条纹的位置偏移量，再根据偏移量的大小可得到所述投影物镜(PO)的波像差。本实用新型能够测量全部37项Zernike系数，简化了测试流程和波像差计算方法，提高了测量精度。

主权项

一种投影物镜波像差在线检测装置，包括光源(LA)、投影物镜(PO)、参考标记(RP)和探测器(DE)，所述光源(LA)用于出射激光，其特征在于： 所述装置还包括掩模板(MA)，由所述光源(LA)出射的激光经由该掩模板(MA)后入射到所述投影物镜(PO)； 所述掩模板(MA)包括用于形成干涉条纹的测试标记，测试标记构成位相光栅图案； 所述参考标记(RP)设置在所述投影物镜(PO)的焦平面处，构成振幅型光栅图案； 所述探测器(DE)设置在所述光路中参考标记(RP)的后方； 其中，所述掩模板(MA)能够将由所述光源(LA)出射的激光转换为两束相干光，该两束相干光经所述投影物镜(PO)后在所述投影物镜(PO)的焦平面处发生干涉，产生干涉条纹；该干涉条纹经过所述参考标记(RP)后照射在所述探测器(DE)上。