用于光刻投影物镜中可快速更换的高重复定位精度结构

摘要

用于光刻投影物镜中可快速更换的高重复定位精度结构属于光刻投影物镜下保护窗口安装定位结构领域，该结构包括保护窗口镜框、定位球头、定位槽滑轨、磁钢片等；磁钢片安装于连接镜框内部，用于克服保护窗口镜框自重，提供吸附力；保护窗口镜片粘接到镜框中，更换时镜框与镜片同时更换。拆卸时为了降低磁钢对定位球头的吸附，将定位槽设计为环向斜面，利于拆卸。定位槽滑轨上的圆锥凹槽用于实现高精度重复定位，便于安装。本发明具有结构简单、便于安装和拆卸、无需安装螺钉、吸附力可调整等优点；由于镜框紧固不需要螺钉，避免了安装和拆卸过程中由于螺钉意外跌落对镜片台面的潜在威胁。

主权项

用于光刻投影物镜中可快速更换的高重复定位精度结构，其特征在于：该定位结构包括三个磁钢片（1）、三个定位球头（2）、下保护窗口镜框（3）、定位槽滑轨、三个紧固螺钉（4）和连接镜框（7）；所述下保护窗口镜框（3）包括下保护窗口镜框法兰（3‑1）和位于下保护窗口镜框法兰（3‑1）上面的带内坡口的圆环侧壁（3‑2），圆环侧壁（3‑2）与下保护窗口镜框法兰（3‑1）一体成型；下保护窗口镜框法兰（3‑1）上设有三个圆柱形定位槽（3‑1‑1），三个圆柱形定位槽（3‑1‑1）按照彼此120°的圆周角分布在与下保护窗口镜框法兰（3‑1）同心的同一个圆周上；每个圆柱形定位槽（3‑1‑1）的底部都开有用于安装螺钉的沉孔（3‑1‑1‑1）；所述定位球头（2）由定位球（2‑1）及固定在其下端的圆柱形支柱（2‑2）组成，定位球（2‑1）为铁磁性材料，圆柱形支柱（2‑2）的底部开有内螺纹孔；圆柱形支柱（2‑2）插入圆柱形定位槽（3‑1‑1）内，紧固螺钉（4）从下保护窗口镜框法兰（3‑1）的下方插入沉孔（3‑1‑1‑1）并与圆柱形支柱（2‑2）螺纹连接；所述连接镜框（7）上设有用于安装定位槽滑轨的安装接口（7‑1）、三个用于安装磁钢片（1）的安装孔（7‑2）和用于安装定位槽滑轨的内螺纹孔，安装孔（7‑2）和内螺纹孔均位于安装接口（7‑1）的底面上；三个安装孔（7‑2）按照彼此120°的圆周角分布在与三个圆柱形定位槽（3‑1‑1）所在圆周半径相同的一个圆周上，该圆周与连接镜框（7）同心；所述定位槽滑轨上设有滑道，滑道所在圆周与三个圆柱形定位槽（3‑1‑1）所在圆周半径相同。