发明名称 太阳能电池及其制造方法
摘要 提供一种太阳能电池及其制造方法,该方法包括以下的步骤:在n型半导体基板的第二主表面之上形成SiNx膜;在SiNx膜形成步骤之后在n型半导体基板的第一主表面之上形成p型扩散层;和在p型扩散层之上形成SiO2膜或氧化铝膜构成。
申请公布号 CN103247715A 申请公布日期 2013.08.14
申请号 CN201310046852.X 申请日期 2013.02.06
申请人 信越化学工业株式会社 发明人 渡部武纪;大塚宽之
分类号 H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0216(2006.01)I;H01L31/068(2012.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人 秦晨
主权项 一种制造太阳能电池的方法,包括以下的步骤:在n型半导体基板的第二主表面之上形成SiNx膜;在SiNx膜形成步骤之后在所述n型半导体基板的第一主表面之上形成p型扩散层;和在所述p型扩散层之上形成由SiO2膜或氧化铝膜构成的钝化膜。
地址 日本东京