监控制程稳定性的测试模块和方法

摘要

本发明涉及一种监控制程稳定性的测试模块和方法，测试模块包括：一衬底、若干第一金属线和若干第二金属线，相邻的两第一金属线之间设置有绝缘块；每个第二金属线均位于一绝缘块的上表面，且第二金属线不与第一金属线连接；其中，第二金属线与其相邻的第一金属线之间的距离不相等。方法包括：提供一制程中的测试模块的测试电流的预设值；提供多个测试模块，其中，每个测试模块的第一金属线和第二金属线之间均存在一个偏移量，且每个测试模块的偏移量均不相等；获取每个测试模块的测试电流；将每个测试电流与预设值进行比较；找出小于预设值且最接近于预设值的测试电流所对应的测试模块；将该测试模块的偏移量确定为制程的叠层安全区间的最大值。

主权项

一种测试模块，应用于监控制程的稳定性，其特征在于，所述测试模块包括：一衬底，所述衬底的上设置有第一测试层和第二测试层，且所述第一测试层覆盖所述衬底的上表面，所述第二测试层覆盖所述第一测试层的上表面；所述第一测试层包括多个第一金属线，且相邻的两个第一金属线之间设置有绝缘块；所述第二测试层包括多个第二金属线，且每个所述第二金属线均位于一所述绝缘块的上表面，且第二金属线不与所述第一金属线连接；其中，每个所述第二金属线与与其相邻的两个第一金属线之间的距离不相等。