发明名称 排气装置以及真空设备
摘要 本实用新型揭示了一种排气装置,设置于真空泵与排气管路之间,所述排气装置包括第一口、第二口、用于存储液体的缓存区以及气体传输管,所述缓存区正对所述第一口,所述气体传输管的一端与所述第一口连通,所述气体传输管的另一端与所述第二口连通,所述第一口连接于所述排气管路的下方,所述第二口连接所述真空泵。本实用新型还揭示了一种真空设备,包括真空泵、与所述真空泵相连通的排气管路以及所述的排气装置。本实用新型中的所述排气装置可以防止液体回流进入真空泵,并且可以方便地对液体进行收集和处理。
申请公布号 CN203130418U 申请公布日期 2013.08.14
申请号 CN201320120568.8 申请日期 2013.03.15
申请人 成都天马微电子有限公司;天马微电子股份有限公司 发明人 申劲浩;李建兴;何宁
分类号 F04B39/00(2006.01)I 主分类号 F04B39/00(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 郑玮
主权项 一种排气装置,设置于真空泵与排气管路之间,其特征在于,所述排气装置包括第一口、第二口、用于存储液体的缓存区以及气体传输管,所述缓存区正对所述第一口,所述气体传输管的一端与所述第一口连通,所述气体传输管的另一端与所述第二口连通,所述第一口连接于所述排气管路的下方,所述第二口连接所述真空泵。
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