摘要 |
Das optische Beleuchtungssystem enthält als optische Elemente ein Kondensorlinsensystem (3) zum Verdichten von Licht aus einer Lichtquelle (1), eine erste Fly-Eye-Linse (5) und eine zweite Fly-Eye-Linse (6). Die Lichtquelle generiert einen Lichtemitter mit einer endlichen longitudinalen Länge in einer ersten Richtung orthogonal zur Richtung einer optischen Achse der Beleuchtungsoptik. Die Lichtquelle und die optischen Elemente sind so konfiguriert, dass sie die Lichtquellenbilder näher an der Beleuchtungsfläche als die zweite Fly-Eye-Linse erzeugen. Die Lichtquelle und die optischen Elemente sind dazu konfiguriert, eine Bedingung P2/P1 ≤ 2,0 zu erfüllen. In der Bedingung bedeutet P1 einen Arrayabstand der Lichtquellenbilder in der ersten Richtung und P2 einen Arrayabstand der Lichtquellenbilder in einer zweiten Richtung orthogonal zu der ersten Richtung und zur Richtung der optischen Achse.
|