发明名称 使用氢阻挡层包封的铁电电容器
摘要 一种集成电路,其包含铁电电容器、下部氢阻挡层(2020)和覆盖的氢阻挡层(2338)。一种形成包含铁电电容器、下部氢阻挡层(2020)和覆盖的氢阻挡层(2338)的集成电路的方法。
申请公布号 CN103250251A 申请公布日期 2013.08.14
申请号 CN201080070567.6 申请日期 2010.12.09
申请人 德克萨斯仪器股份有限公司 发明人 R·J·阿加沃尔;S·R·萨默菲尔特;G·B·巴瑟姆;T·S·莫伊兹
分类号 H01L27/105(2006.01)I;H01L27/108(2006.01)I;H01L21/8242(2006.01)I 主分类号 H01L27/105(2006.01)I
代理机构 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 代理人 赵蓉民
主权项 一种集成电路,其包括:铁电电容器;下部氢阻挡层,其耦合到所述铁电电容器的底表面;以及覆盖的氢阻挡层,其与所述下部氢阻挡层的顶表面的一部分接触。
地址 美国德克萨斯州