一种干刻蚀装置的下部电极及干刻蚀装置

摘要

本实用新型涉及干刻蚀技术领域，特别涉及一种干刻蚀装置的下部电极及干刻蚀装置，用于提高基板刻蚀的合格率。本实用新型公开了一种干刻蚀装置的下部电极，包括：电极基底，设置于所述电极基底上的陶瓷层，且所述陶瓷层具有供冷却气体通过的多个吹气孔，以及设置于所述陶瓷层周边且凸出所述陶瓷层上表面的凸台。采用本实用新型提供的下部电极对基板进行刻蚀时，基板中部与陶瓷层上表面接触，基板边缘由凸台支撑，如此设置，可以提高刻蚀的均一性，从而提高基板刻蚀的合格率。本实用新型同时还公开了一种干刻蚀装置，包括具有上述特征的干刻蚀装置的下部电极。

主权项

一种干刻蚀装置的下部电极，其特征在于，包括：电极基底和设置于所述电极基底上的陶瓷层；其中，所述陶瓷层具有供冷却气体通过的多个吹气孔，以及设置于所述陶瓷层周边且凸出所述陶瓷层上表面的凸台。