基板洗净装置及基板洗净方法，与记忆媒体

摘要

本发明之课题为：提供基板清洗装置，能以海绵状刷具有效地去除至少附着于基板端面的附着物。;为解决上述课题，基板清洗装置1包含：旋转夹盘3，将基板W以可旋转方式固持；马达4，将旋转夹盘3所固持之基板W旋转；清洗液供给机构10，对旋转夹盘3所固持之基板W供给清洗液；与清洗机构。清洗机构包含：刷具21，由海绵状树脂构成，清洗时至少抵接于基板W之端面；及刷具压缩机构23a、23b、24，将刷具21压缩。刷具21以压缩机构23a、23b、24形成压缩状态，至少清洗基板W之端面。