乾蚀刻设备

摘要

一种乾蚀刻设备，系能够于基板表面形成均一的型样，此乾蚀刻设备用以透过使用电浆而于至少一个基板上进行蚀刻，此乾蚀刻设备包含：至少一个基板，系位于腔室内的托盘之上；基座，系配置于腔室内部并面对至少一个基板，用以供应高频功率来形成电浆；接地部件，系配置于基座之下方并且不与基座相接触；以及绝缘部件，系配置于基座与接地部件之间。