发明名称 |
流体装置及其控制方法 |
摘要 |
一种用于执行检定之流体装置可包括诸如真空泵、气体泵、“断开式打开阀(Broken open valves)”以及“自关闭阀(self-close valves)”之控制组件,其用于控制流体装置中的流体流动。可使用真空泵来沿特定方向牵引通道中的流体,且可使用气体泵来沿特定方向推动通道中的流体。可使用断开式打开阀来连接由使用者控制的两个独立区域,且可使用自关闭阀来在流体经过后自动密封通道。真空泵、气体泵、断开式打开阀以及自关闭阀可制造为小体积,使得流体装置可制造体积小且可携带的装置。 |
申请公布号 |
TWI404929 |
申请公布日期 |
2013.08.11 |
申请号 |
TW098128573 |
申请日期 |
2006.11.21 |
申请人 |
财团法人工业技术研究院 新竹县竹东镇中兴路4段195号 |
发明人 |
翁国曜 |
分类号 |
G01N33/53;G01N11/04 |
主分类号 |
G01N33/53 |
代理机构 |
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代理人 |
詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1 |
主权项 |
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地址 |
新竹县竹东镇中兴路4段195号 |