发明名称 流体装置及其控制方法
摘要 一种用于执行检定之流体装置可包括诸如真空泵、气体泵、“断开式打开阀(Broken open valves)”以及“自关闭阀(self-close valves)”之控制组件,其用于控制流体装置中的流体流动。可使用真空泵来沿特定方向牵引通道中的流体,且可使用气体泵来沿特定方向推动通道中的流体。可使用断开式打开阀来连接由使用者控制的两个独立区域,且可使用自关闭阀来在流体经过后自动密封通道。真空泵、气体泵、断开式打开阀以及自关闭阀可制造为小体积,使得流体装置可制造体积小且可携带的装置。
申请公布号 TWI404929 申请公布日期 2013.08.11
申请号 TW098128573 申请日期 2006.11.21
申请人 财团法人工业技术研究院 新竹县竹东镇中兴路4段195号 发明人 翁国曜
分类号 G01N33/53;G01N11/04 主分类号 G01N33/53
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项
地址 新竹县竹东镇中兴路4段195号