| 发明名称 |
SUSCEPTOR HAVING A FUNCTION OF SELF-BALANCING AND DEPOSITION EQUIPMENT USING THE SAME |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR20130088630(A) |
申请公布日期 |
2013.08.08 |
| 申请号 |
KR20120009998 |
申请日期 |
2012.01.31 |
| 申请人 |
KOREA UNIVERSITY OF TECHNOLOGY AND EDUCATION INDUSTRY-UNIVERSITY COOPERATION FOUNDATION |
发明人 |
RIM, KYUNG HWA |
| 分类号 |
H01L21/683;C23C16/458;G02F1/13;H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/683 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
