微加热器阵列、具有其的PN结器件及制造方法

摘要

本发明提供一种微加热器阵列和包括微加热器阵列的PN结器件及其制造方法。本发明包括：包括在衬底上彼此垂直或平行设置的第一微加热器和第二微加热器的微加热器阵列；以及利用当将电压施加到微加热器阵列时分别从第一加热部分和第二加热部分产生的热在第一加热部分与第二加热部分之间制造PN结的方法。因此，当使用微加热器形成PN结时，可以在玻璃衬底上的大面积内制造高质量的PN结。

主权项

一种微加热器阵列，包括：衬底；至少一个第一微加热器，其位于所述衬底上，平行于第一方向；以及至少一个第二微加热器，其平行于第二方向，其中所述至少一个第一微加热器的每个包括在所述衬底上沿着所述第一方向延伸的第一加热部分和在所述衬底上支撑所述第一加热部分的第一支撑物，并且所述至少一个第二微加热器的每个包括沿着所述第二方向延伸的第二加热部分和在所述衬底上支撑所述第二加热部分的第二支撑物，其中所述第一支撑物和所述第二支撑物由低导热率的材料形成，其中所述至少一个第一微加热器彼此共平面，所述至少一个第二微加热器彼此共平面，但是所述第一微加热器和所述第二微加热器不共平面，其中所述至少一个第一微加热器与所述至少一个第二微加热器交叉。