涂敷装置

摘要

本发明提供通过防止涂敷涂敷液时基板带电而能够防止对基板上形成的图案等产生静电破坏等损伤的涂敷装置。涂敷装置具有：工作台(41)，其从基板(100)的下面支撑基板(100)；涂敷液供给部，其相对于支撑在该工作台(41)上的基板(100)相对移动，而对基板(100)涂敷涂敷液；还具有：狭缝喷嘴(42)，其为金属制，用于涂敷涂敷液；支撑构件(44)，其经由绝缘体(35)支撑该狭缝喷嘴(42)。

主权项

一种涂敷装置，具有：工作台，其从基板的下面支撑所述基板；涂敷液供给部，其相对于支撑在所述工作台上的基板相对移动，而对所述基板涂敷涂敷液，其特征在于，具有：金属制的涂敷液涂敷喷嘴；支撑构件，其经由绝缘体支撑所述涂敷液涂敷喷嘴；所述工作台由具有绝缘性的材料构成。