发明名称 | 三维多方向敏感的微型压力开关 | ||
摘要 | 一种三维多方向敏感的微型压力开关,属于微机电系统技术领域。本发明中,可动电极包括环形可动电极和水平梁两个部分,环形可动电极与蛇形水平弹簧连接,并被弹簧支撑座悬空在基底上方;固定电极为L形,L形一部分平行于基底、另一部分垂直于基底,其中固定电极平行于基底部分与环形可动电极有垂直间隙,固定电极垂直于基底部分与环形可动电极有水平间隙。本发明利用由弹簧支撑的可动电极与固定电极构建,仅使用一只微开关器件即可同时检测来自多方向的微接触压力作用,并且通过对四对电极的导通情况可大致分析出力的来源方向,增加了开关的功能并且方便了其在集成电路中的系统封装。 | ||
申请公布号 | CN102306583B | 申请公布日期 | 2013.08.07 |
申请号 | CN201110253832.0 | 申请日期 | 2011.08.31 |
申请人 | 上海交通大学 | 发明人 | 杨卓青;黄韬;丁桂甫;赵小林 |
分类号 | H01H25/00(2006.01)I | 主分类号 | H01H25/00(2006.01)I |
代理机构 | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人 | 郭国中 |
主权项 | 一种三维多方向敏感的微型压力开关,包括:基底、可动电极、固定电极、水平弹簧和弹簧支撑座;其特征在于:所述的可动电极包括环形可动电极和水平梁两个部分,环形可动电极与蛇形水平弹簧连接,并被弹簧支撑座悬空在基底上方;所述的固定电极固定在基底上,位于基底的四周,弹簧支撑座固定在基底、位于基底中央;所述的固定电极为L形,L形一部分平行于基底、另一部分垂直于基底,其中固定电极平行于基底部分与环形可动电极有垂直间隙,固定电极垂直于基底部分与环形可动电极有水平间隙。 | ||
地址 | 200240 上海市闵行区东川路800号 |