具有单质量块的微机械三轴加速计

摘要

除其它情况之外，本申请讨论了一种惯性测量系统，包括器件层、帽晶片和孔晶片，其中，所述器件层包括单质量块三轴加速计，所述帽晶片粘合到所述器件层的第一表面，所述孔晶片粘合到所述器件层的第二表面，其中，所述帽晶片和所述孔晶片被配置为封装所述单质量块三轴加速计。所述单质量块三轴加速计可围绕单个中心锚悬吊，且包括单独的x轴挠曲支承部、y轴挠曲支承部和z轴挠曲支承部，其中，所述x轴挠曲支承部和所述y轴挠曲支承部关于所述单个中心锚对称，且所述z轴挠曲支承部关于所述单个中心锚不对称。

主权项

一种惯性测量系统，包括：器件层，包含形成在x‑y平面中的单质量块三轴加速计，所述单质量块三轴加速计围绕单个中心锚悬吊，所述单质量块三轴加速计包括单独的x轴挠曲支承部、y轴挠曲支承部和z轴挠曲支承部；其中，所述x轴挠曲支承部和所述y轴挠曲支承部关于所述单个中心锚对称，所述z轴挠曲部关于所述单个中心锚不对称；帽晶片，粘合到所述器件层的第一表面；以及孔晶片，粘合到所述器件层的第二表面，其中，所述帽晶片和所述孔晶片被配置为封装所述单质量块三轴加速计。