一种可防止微波泄漏的新型结构

摘要

本实用新型公开了一种应用于微波化学气相沉积领域的新型结构，包括可移动部件(11)、固定部件(12)、狭缝(13)、U型狭缝(14)、微波阻拦槽(15)、导电金属网(16)，其特征在于，狭缝(13)上设有微波阻拦槽(15)，微波阻拦槽内装有导电金属网(16)，U型狭缝(14)间隙远大于狭缝(13)间隙，U型狭缝(14)通道的长度可让在其尽头反射的微波与入射的微波干涉相消。本实用新型提供的结构，利用微波在U型狭缝中的干涉相消以及金属导电网，可最大程度的防止微波泄漏。

主权项

一种应用于微波化学气相沉积领域的可防止微波泄漏的新型结构，包括可移动部件(11)、固定部件(12)、狭缝(13)、U型狭缝(14)、微波阻拦槽(15)、金属导电网(16)，其特征在于，狭缝(13)上设有微波阻拦槽(15)，微波阻拦槽内装有导电金属网(16)。