使用含有机溶剂的显影剂的图案形成方法和用于图案形成方法的漂洗溶液

摘要

一种图案形成方法，所述图案形成方法包括：(i)从有机溶剂系显影用抗蚀剂组合物形成抗蚀剂膜的步骤，所述抗蚀剂组合物含有(A)树脂，所述树脂能够通过酸的作用增加极性而降低在含有机溶剂的显影剂中的溶解度，和(B)能够在使用光化射线或辐射照射时产生酸的化合物；(ii)曝光步骤；(iii)显影步骤，所述显影步骤使用含有机溶剂的显影剂；和(iv)洗涤步骤，所述洗涤步骤使用漂洗溶液，其中在所述步骤(iv)中，使用至少含有如说明书中所定义的溶剂S1或S2的漂洗溶液。

主权项

一种图案形成方法，所述图案形成方法包括：(i)从有机溶剂系显影用抗蚀剂组合物形成抗蚀剂膜的步骤，所述抗蚀剂组合物含有(A)树脂，其能够通过酸的作用增加所述树脂(A)的极性以降低所述树脂(A)在含有机溶剂的显影剂中的溶解度；和(B)能够在使用光化射线或辐射照射时产生酸的化合物；(ii)曝光步骤；(iii)显影步骤，所述显影步骤使用含有机溶剂的显影剂；和(iv)洗涤步骤，所述洗涤步骤使用漂洗溶液，其中在所述步骤(iv)中，使用至少含有下列溶剂S1或S2的漂洗溶液：溶剂S1：醇，所述醇具有至少为5的碳数并且具有至少含有支化或环状结构的烷基链，其中所述烷基链中的仲或叔碳原子结合到羟基；和溶剂S2：二烷基醚，所述二烷基醚至少具有碳数至少为5的烷基或碳数至少为5的环烷基，其中所述漂洗溶液含有所述溶剂S1，并且所述溶剂S1是3‑甲基‑2‑戊醇、3‑甲基‑3‑戊醇、4‑甲基‑2‑戊醇、4‑甲基‑3‑戊醇和2‑甲基‑2‑戊醇中的任一个。