发明名称 Acid amplifiers
摘要 There are disclosed sulfonic acid precursor compositions, as are methods of using these compositions in, for example, photolithography. Other embodiments are also disclosed.
申请公布号 US8501382(B1) 申请公布日期 2013.08.06
申请号 US20100708958 申请日期 2010.02.19
申请人 BRAINARD ROBERT L.;THE RESEARCH FOUNDATION OF STATE UNIV. OF NEW YORK 发明人 BRAINARD ROBERT L.
分类号 G03F7/004;C07C309/65;C07C309/72;G03F7/039;G03F7/20 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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