多片基板输送装置

摘要

本创作系揭露一种多片基板输送装置，其包括一支撑组件、复数传送单元、复数导引杆、二第一调整单元、二第二调整单元及一驱动杆。藉此，本创作之多片基板输送装置，系透过导引杆、第一调整单元、第二调整单元的配合，当以一外部动力驱动该驱动杆时，该等第一调整单元与该等第二调整单元可依据基板宽度及数量移动到所需位置，以固定各该基板前进的方向，达到使基板朝预定之传输方向前进并避免彼此碰撞的功效。