发明名称 Medio imprimible para grabar capas oxídicas, transparentes y conductoras
摘要 Medio de grabado que se puede imprimir y dispensar para grabar superficies y capas oxídicas, transparentes yconductoras en forma de una pasta de grabado que contiene a) ácido fosfórico en una concentración en el intervalo de aproximadamente 35 a 50% en peso, b) al menos un disolvente c) grafito y/o negro de carbón con un diámetro de partícula relativo en el intervalo de 20 nm a 80 nm y unasuperficie BET específica en el intervalo de 40 a 100 m2/g, en una cantidad de menos de 8% en peso, pero de másde 0,5% en peso, d) dado el caso, un espesante, y e) dado el caso, aditivos como antiespumantes, agentes tixotrópicos, agentes de control del flujo, desaireadores,agentes de adhesión.
申请公布号 ES2416310(T3) 申请公布日期 2013.07.31
申请号 ES20070818739T 申请日期 2007.10.05
申请人 MERCK PATENT GMBH 发明人 STOCKUM, WERNER;KUEBELBECK, ARMIN
分类号 C09K13/06;H01L21/306 主分类号 C09K13/06
代理机构 代理人
主权项
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