| 发明名称 | 超纯气体回收系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种超纯气体回收系统，该系统的第一汇流排组、第三汇流排组和第二汇流排组上设置有隔膜阀，隔膜阀通过管道与灌装瓶连接；所述真空泵通过管道与第一汇流排组、第三汇流排组和第二汇流排组连接；所述第三汇流排组通过增压泵与第二汇流排组连接，所述增压泵内部设置有过滤器；所述第一汇流排组通过纯化器与第二汇流排组连接。该超纯气体回收系统增压泵内部设置的过滤器，可以对进入增压泵内气体中夹杂的颗粒进行过滤，过滤后的气体颗粒度<1μ，增压后的超纯气体的纯度可以达到99.9999%；采用增压泵作为增压装置，其占用的死体积小，使置换损失的超纯气体量少。 | ||
| 申请公布号 | CN203099331U | 申请公布日期 | 2013.07.31 |
| 申请号 | CN201220726171.9 | 申请日期 | 2012.12.26 |
| 申请人 | 成都成钢梅塞尔气体产品有限公司 | 发明人 | 沈文 |
| 分类号 | F17D1/02(2006.01)I | 主分类号 | F17D1/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种超纯气体回收系统，其特征在于：包括第一汇流排组（1）、真空泵（3）、第三汇流排组（4）、隔膜阀（5）、增压泵（7）和第二汇流排组（8）；所述第一汇流排组（1）、第三汇流排组（4）和第二汇流排组（8）上设置有隔膜阀（5），隔膜阀（5）通过管道与灌装瓶（6）连接；所述真空泵（3）通过管道与第一汇流排组（1）、第三汇流排组（4）和第二汇流排组（8）连接；所述第三汇流排组（4）通过增压泵（7）与第二汇流排组（8）连接，所述增压泵（7）内部设置有过滤器；所述第一汇流排组（1）通过纯化器（9）与第二汇流排组（8）连接。 | ||
| 地址 | 610300 四川省成都市青白江区大湾镇团结南路 | ||