用于CIGS基薄膜光伏电池的薄膜钠物种阻挡方法和结构

摘要

一种用于制作薄膜太阳能电池的方法，包括提供含有表面区域且氧化钠浓度大于约10wt％的钠钙玻璃基板，和用一种或多种清洁工艺处理表面区域，采用去离子水冲洗，以去除粒径大于3微米的表面污染物。该方法还包括形成覆盖表面区域的阻挡层，形成覆盖阻挡层的处于拉伸构造中的第一钼层，和采用第二工艺形成覆盖第一钼层的处于压缩构造中的第二钼层。另外，该方法包括使第一钼层和第二钼层图案化而形成下电极层以及形成覆盖下电极层的光伏材料层。而且，该方法包括形成覆盖光伏材料层的第一氧化锌层。

主权项

一种用于制作薄膜太阳能电池的方法，所述方法包括：提供包含表面区域且氧化钠浓度大于10重量百分比的钠钙玻璃基板；用一种或多种清洁工艺处理所述表面区域，采用去离子水冲洗，以去除粒径大于3微米的表面污染物；形成覆盖所述表面区域的阻挡层，所述阻挡层的特征在于将钠保持在所述钠钙玻璃基板中；采用第一工艺形成覆盖所述阻挡层的第一钼层，所述第一钼层具有第一厚度并处于拉伸构造中；采用第二工艺形成覆盖所述第一钼层的第二钼层，所述第二钼层具有大于所述第一厚度的第二厚度并处于压缩构造中；使所述第一钼层和所述第二钼层图案化以形成下电极层；形成覆盖所述下电极层的光伏材料层；以及形成覆盖所述光伏材料层的第一氧化锌层。