| 发明名称 | 机械手 | ||
| 摘要 | 本发明揭示了一种机械手，包括主机械手、安装在所述主机械手上的副机械手以及安装在所述主机械手上的清洗装置，所述主机械手包括主气缸、安装在所述主气缸上的主连接件以及安装在所述主连接件上的主吸盘；所述副机械手包括副气缸、安装在所述副气缸上的副连接件以及安装在所述副连接件上的副吸盘；所述清洗装在安装在所述主连接件上。与现有技术相比，本发明所述机械手不仅能够抓取单晶硅，还能对单晶硅进行清洗。 | ||
| 申请公布号 | CN103227139A | 申请公布日期 | 2013.07.31 |
| 申请号 | CN201310154997.1 | 申请日期 | 2013.04.28 |
| 申请人 | 苏州工业园区高登威科技有限公司 | 发明人 | 李佳 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种机械手，其特征在于：所述机械手包括主机械手、安装在所述主机械手上的副机械手以及安装在所述主机械手上的清洗装置，所述主机械手包括主气缸、安装在所述主气缸上的主连接件以及安装在所述主连接件上的主吸盘；所述副机械手包括副气缸、安装在所述副气缸上的副连接件以及安装在所述副连接件上的副吸盘；所述清洗装在安装在所述主连接件上。 | ||
| 地址 | 215121 江苏省苏州市苏州工业园区展业路8号中新科技工业坊2-2F-A单元 | ||