互锁控制系统

摘要

本发明公开了一种互锁控制系统，引入了相互独立的互锁控制模块，从而可以实现对互锁的单独控制，那么能够有效的使得在异常发生时，仅涉及到的腔室停止运作，其他腔室不受影响，从而大大的降低了故障排除的难度，缩短了复机时间，并尽可能的降低了损耗，也就大大的节省了时间和生产成本，有利于提高生产效率。

主权项

一种互锁控制系统，用于包括多个腔室的半导体设备，所述多个腔室至少包括一个第一腔室和一个第二腔室，其特征在于，包括：多个互锁组及多个互锁控制模块；所述多个腔室一一对应于所述互锁组，所述互锁组能够与所述互锁控制模块相连接，所述多个互锁控制模块相互独立。