通过转动耦合环而形成的静电吸盘和热边环之间的可调节热接触

摘要

披露了一种供静电吸盘之用的可转动设备，该静电吸盘配置用于将衬底固定在等离子环境中。该可转动设备包括静电吸盘的第一部分，该第一部分具有至少一个表面，该表面上具有可变热接触区域。静电吸盘的第二部分具有至少一个表面，该表面上具有可变热接触区域。该第二部分的至少一个表面被配置成与第一部分的至少一个表面热接触，以便控制衬底表面的热梯度。

主权项

一种用于配置来将衬底保持在等离子环境中的静电吸盘的可转动设备，所述可转动设备包括：耦合环，其被配置成围绕所述静电吸盘的至少一部分的外围并且与接近所述静电吸盘安装的边缘环热接触，所述耦合环包括：所述耦合环的第一部分，具有第一组对立面，所述第一组对立面的至少一个具有在其上形成的第一多个凸起部件；以及所述耦合环的第二部分，具有第二组对立面，所述第二组对立面中的至少一个具有在其上形成并且被布置成热耦合到所述第一多个凸起部件的第二多个凸起部件，所述耦合环的第一部分和所述耦合环的第二部分被配置成在进入相互物理接触时具有可变的机械接触区域，所述第一和第二部分之间的热耦合程度被配置成通过相对于所述第二部分转动所述第一部分来控制；其中，所述第一和第二多个凸起部件被放射状地分别布置在所述耦合环的第一和第二部分各自的多个同心环中，所述多个凸起部件各自与除其底部之外的所述多个同心环的后一个或前一个中的凸起部件热隔离。