一种系统日志自动分析的方法

摘要

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种系统日志自动分析的方法，通过在日志文件中添加相应的注释形成样本文件，并利用该样本文件对学分析系统进行培训后，采用培训后的学分析系统对样本文件进行分析，并判断分析结果是否符合工艺需求，不符合则继续利用样本文件对学分析系统进行培训，直至分析结果符合工艺需求后，利用培训过的学分析系统对日志文件进行分析，以获取工艺需求的信息，即通过按照固定的格式和对人工智能系统进行简单的训练，就能针对新的系统的日志文件进行分析，以从日志文件中获得工艺需求的有效信息，进而有效的降低了因不断的开发新的日志分析系统所花费的大量时间和人力成本。

主权项

一种系统日志自动分析的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1：提供一样本文件和一日志文件地址；步骤S2：利用所述样本文件对一学习分析系统进行训练；步骤S3：被训练过的学习分析系统根据所述日志文件地址获取日志文件，并对所述日志文件进行分析，输出日志文件分析结果；其中，所述样本文件是所述日志文件的范例。