发明名称 | 冷阱及冷阱的控制方法 | ||
摘要 | 本发明提供一种冷阱及冷阱的控制方法,其目的在于能够实现冷阱的连续运行。本发明的冷阱(10)具备2个能够独立控制的冷却单元(20,22)。冷阱(10)配置于将真空腔室(16)连接在涡轮分子泵(12)的排气流路(14)。第1冷却单元(20)包含:露出于排气流路(14)而配置的第1板单元(26);及热连接于第1板单元(26)并对冷却第1板单元(26)进行冷却的第1制冷机(24)。第2冷却单元(22)包含:露出于排气流路(14)而配置的第2板单元(30);及热连接于第2板单元(30)并对第2板单元(30)进行冷却的第2制冷机(28)。第1板单元(26)远离第2板单元(30)而配置。 | ||
申请公布号 | CN103223260A | 申请公布日期 | 2013.07.31 |
申请号 | CN201310032854.3 | 申请日期 | 2013.01.28 |
申请人 | 住友重机械工业株式会社 | 发明人 | 田中秀和 |
分类号 | B01D8/00(2006.01)I | 主分类号 | B01D8/00(2006.01)I |
代理机构 | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人 | 温旭;郝传鑫 |
主权项 | 一种冷阱,其具备能够独立控制的多个冷却单元,且配置于将排气对象容积与真空泵连接的排气流路内,其特征在于,各冷却单元包括:板单元,其露出配置于所述排气流路;及制冷机,其与所述板单元热连接并对所述板单元进行冷却,各冷却单元的板单元与其他冷却单元的板单元远离配置。 | ||
地址 | 日本东京都 |