Verfahren zur Erzeugung von Bildern einer Probe

摘要

Verfahren zur Erzeugung von Bildern einer Probe (4) mit den folgenden Schritten:–Einbringen einer Probe (4) in eine Probenkammer (3) eines Teilchenstrahlgeräts (1),–Auswählen einer bestimmten Position auf der Oberfläche (56, 56B, 60, 61) der Probe (4),–Zuführen eines Kontrastmittel-Precursors (51) an die bestimmte Position auf der Oberfläche (56, 56B, 60, 61) der Probe (4),–Bereitstellen eines Teilchenstrahls (50) und/oder eines Lichtstrahls (47),–Zuführen des Teilchenstrahls (50) und/oder des Lichtstrahls (47) an die bestimmte Position auf der Oberfläche (56, 56B, 60, 61) der Probe (4) zum Aufbringen einer Kontrastmittelschicht (52, 52A, 52B) an der bestimmten Position auf der Oberfläche (56, 56B, 60, 61) der Probe (4) durch Wechselwirkung des Teilchenstrahls (50) und/oder des Lichtstrahls (47) mit dem Kontrastmittel-Precursor (51),–Belassen der Kontrastmittelschicht (52, 52A, 52B) auf der Oberfläche (56, 56B, 60, 61) der Probe (4) für eine vorbestimmte Zeit, wobei in der vorbestimmten Zeit ein erster Teil (53) der Kontrastmittelschicht (52, 52A, 52B) in die Probe (4) diffundiert und wobei ein zweiter Teil (54) der Kontrastmittelschicht (52, 52A, 52B) auf der Oberfläche (56, 56B, 60, 61) der Probe (4) verbleibt, sowie ...