| 发明名称 | 真空泵 | ||
| 摘要 | 一种干式真空泵包括定子部件和至少一个转子部件。为了改进所述泵对通过该泵的腐蚀性气体和磨蚀颗粒的耐受性，所述定子部件和/或所述至少一个转子部件由奥贝球铁制成。 | ||
| 申请公布号 | CN101438061B | 申请公布日期 | 2013.07.24 |
| 申请号 | CN200780016740.2 | 申请日期 | 2007.04.16 |
| 申请人 | 爱德华兹有限公司 | 发明人 | E·U·奥科罗亚富尔 |
| 分类号 | F04C18/12(2006.01)I;F04C18/16(2006.01)I;F04C18/02(2006.01)I;F04C29/00(2006.01)I | 主分类号 | F04C18/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 温大鹏;杨松龄 |
| 主权项 | 一种包括定子部件和至少一个转子部件的用于泵送氯、三氯化硼、溴化氢、氟和三氟化氯的干式真空泵，其特征在于，所述定子部件和/或所述至少一个转子部件由奥贝球铁制成，其中所述奥贝球铁具有至少90％的石墨球化率。 | ||
| 地址 | 英国西萨塞克斯郡 | ||