成膜装置

摘要

一种成膜装置包括：成膜室(11)，在真空中将希望的膜成膜在基板(W)上；放入取出室(13)，经由第一开闭部(25)被固定于所述成膜室(11)，并能将内部减压为真空气氛；第二开闭部(36)，设置在所述放入取出室(13)的、与设置有所述第一开闭部(25)的面相反的面上；以及托架(21)，以所述基板(W)的成膜面与重力方向大致平行的方式保持所述基板(W)，所述托架或所述基板(W)通过所述第二开闭部(36)被搬入、搬出所述放入取出室(13)，在所述放入取出室(13)中并列配置多个所述托架(21)，在所述放入取出室(13)与所述成膜室(11)之间所述多个托架(21)被并列地搬入或搬出，在所述成膜室(11)中对保持在所述多个托架(21)上的多个所述基板(W)同时进行成膜。

主权项

一种成膜装置，其特征在于，包括：成膜室，在真空中将希望的膜成膜在多个基板上；放入取出室，经由第一开闭部被固定于所述成膜室，并能将内部减压为真空气氛；第二开闭部，设置在所述放入取出室的、与设置有所述第一开闭部的面相反的面上；托架，以基板的成膜面与重力方向大致平行的方式保持所述基板，并具有车轮；推挽机构，设置在所述放入取出室中，通过所述车轮在移动轨道上滚动使所述托架沿着所述移动轨道在所述成膜室与所述放入取出室之间移动；移动机构，设置在放入取出室中，使所述托架沿与所述移动轨道的铺设方向大致正交的方向移动规定距离；以及多个流程模块，对于一个放入取出室连接一个成膜室而构成，所述托架或所述基板通过所述第二开闭部，并被所述推挽机构搬入、搬出所述放入取出室，在所述放入取出室中并列配置多个所述托架，在所述放入取出室与所述成膜室之间所述多个托架被并列地搬入、搬出，在所述成膜室中对保持在所述多个托架上的多个所述基板同时进行成膜。