空间光调制单元、照明设备、曝光设备和装置制造方法

摘要

一种空间光调制单元(SM1)可布置于光学系统中，且可沿着所述光学系统的光轴来布置。所述空间光调制单元(SM1)包括：第一折叠表面(R11)，其使平行于所述光学系统的所述光轴(Ax)而入射的光线折叠；反射性空间光调制器(S1)，其使在所述第一折叠表面(R11)上折叠的光线折叠；和第二折叠表面(R12)，其使在所述空间光调制器(S1)上折叠的光线折叠，以将所述光线发出到所述光学系统中。所述空间光调制器(S1)根据在所述第一折叠表面(R11)上折叠的所述光线入射到所述空间光调制器(S1)的位置来将空间调制施加于所述光线。

主权项

一种曝光光学系统，包括：利用光源所供给的照明光来照明被照射面的照明光学系统，及把布置于被照射面的图案投影至感光性基底的投影光学系统，所述曝光光学系统包含：可沿着所述照明光学系统的光轴来布置的空间光调制单元，所述空间光调制单元包含：第一折叠表面，用以使平行于所述照明光学系统的所述光轴而入射的光线折叠；空间光调制器，用以使在所述第一折叠表面上折叠的所述光线反射；以及第二折叠表面，用以使在所述空间光调制器上反射的所述光线折叠，并将所述光线向前发送到所述照明光学系统中；其中所述空间光调制器根据在所述第一折叠表面上折叠的所述光线入射到所述空间光调制器的位置来将空间调制施加于所述光线，以便在所述照明光学系统的内部形成光瞳亮度分布。