ELA不均匀性的量化判断方法及其反馈系统

摘要

本发明公开了一种激光晶化工艺（ELA）不均匀性的量化判断方法及其反馈系统，该系统主要包括：探测装置，用于检测多晶硅少数载流子寿命；计算评级模块，用于收集检测数据，计算并分类统计结果；反馈调节模块，用于收集评级结果并控制激光晶化设备的自动调整。利用本发明的量化判断方法及其反馈系统，不但能够对多晶硅不均匀性（多晶硅mura）进行量化判断，还能够将检测评判结果通过反馈系统反馈给工艺设备，进行及时调整，以减少产品损失和提高良率。

主权项

一种激光晶化工艺ELA不均匀性的量化反馈系统，包括激光晶化设备；其特征在于，还包括探测装置、计算评级模块和反馈调节模块；其中：所述探测装置，用于检测多晶硅少数载流子寿命；所述计算评级模块，用于收集检测数据，计算并分类统计结果；所述反馈调节模块，用于收集评级结果并控制激光晶化设备的自动调整。