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发明名称
摘要
申请公布号 JP5242066(B2) 申请公布日期 2013.07.24
申请号 JP20070059045 申请日期 2007.03.08
申请人 发明人
分类号 C23C16/455;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/316 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人
主权项
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