发明名称 |
基于IBAD-MgO金属基带的简化隔离层及其制备方法 |
摘要 |
一种基于IBAD-MgO金属基带的简化隔离层及其制备方法,在IBAD-MgO金属基带上,采用经简化了的单层CeO2隔离层结构代替复杂的LaMnO3/MgO、CeO2/MgO和CeO2/LaMnO3双层复合隔离层结构,简化了复合隔离层结构,减少了隔离层层数,大大降低了镀膜成本,工艺可重复性和可靠性高,所得薄膜的质量高、表面光滑、致密性好、结合力强,所得薄膜的颗粒大小均匀可控。 |
申请公布号 |
CN103215546A |
申请公布日期 |
2013.07.24 |
申请号 |
CN201310176921.9 |
申请日期 |
2013.05.14 |
申请人 |
上海超导科技股份有限公司 |
发明人 |
李贻杰;刘林飞;肖桂娜 |
分类号 |
C23C14/08(2006.01)I;H01B12/06(2006.01)I;H01B13/00(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/08(2006.01)I |
代理机构 |
上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 |
代理人 |
张妍 |
主权项 |
一种基于IBAD‑MgO金属基带的简化隔离层,该简化隔离层沉积在IBAD‑MgO金属基带上,其特征在于,该简化隔离层为单层CeO2隔离层。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区芳春路400号1幢3层301-15 |