扩散工艺中剩余三氯氧磷源的回收装置

摘要

本实用新型提供一种扩散工艺中剩余三氯氧磷源的回收装置，包括：包括手套操作箱，以及设置在手套操作箱内的高纯氮气流量控制系统和回收源系统；回收源系统包括高架台面、待回收源瓶和回收源瓶，待回收源瓶设置在高架台面上，且其出气管连接至高纯氮气流量控制系统；回收源瓶与高架台面相邻设置，回收源瓶的进气管与待回收源瓶的进气管连接。本实用新型具有提高三氯氧磷原料利用率、降低生产成本、减轻环境污染，且操作安全可靠的优点。

主权项

一种扩散工艺中剩余三氯氧磷源的回收装置，其特征在于，包括手套操作箱、以及设置在所述手套操作箱内的高纯氮气流量控制系统和回收源系统；所述回收源系统包括高架台面、待回收源瓶和回收源瓶，所述待回收源瓶设置在所述高架台面上，且其出气管连接至所述高纯氮气流量控制系统；所述回收源瓶与所述高架台面相邻设置，所述回收源瓶的进气管与所述待回收源瓶的进气管连接。